| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Introduction to Micro Systems Technology | Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 337663 | ||
| Einführung in die Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 274898 | |||
| Microsystem Design | Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 274897 | ||
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 284301 | ||
| Ultra-Precision Technology II | Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 284300 | ||
| Ultrapräzisionstechnik II | Vorlesung | 268691 | Mo 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Di 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Mi 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Do 09:00-17:00 t.b.d. (×1) Fr 09:00-17:00 t.b.d. (×1) | |||
| Ultrapräzisionstechnik II | Übung | 269978 |